微加工(gōng)
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使用固體(tǐ)激光器進行結構化和蝕刻,這曾一(yī)度是聞所未聞的。直到“微加工(gōng)”這一(yī)關鍵詞得到廣爲流傳,此項工(gōng)藝才愈發成爲關注的焦點。采用激光結構化與激光蝕刻時可加工(gōng)小(xiǎo)型甚至極小(xiǎo)尺寸的工(gōng)件。
結構化與蝕刻在工(gōng)藝技術方面密切相關:短激光脈沖以極高的脈沖功率産生(shēng)高能量密度,從而使大(dà)部分(fēn)材料直接蒸發(升華)。此工(gōng)序僅産生(shēng)少量的金屬熔融物(wù)。每一(yī)激光脈沖生(shēng)成一(yī)道小(xiǎo)凹口。經測量,凹口直徑通常爲幾十微米,而深度也僅有幾微米。
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